- 供货总量 : 不限
- 价格说明 : 议定
- 包装说明 : 不限
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NR9-3000PYNR9 3000PY光刻胶
2,涂胶,在硅片覆盖,旋转,离心力,在硅片表面通过旋转的光刻胶,工艺参数3000-6000rpm 胶膜厚0.5-1um,
3,前烘,通过在较高温度下进行烘焙,使存底表面涂覆的光刻胶膜的溶剂挥发,溶剂将至5%左右,NR9 3000PY光刻胶厂家,同时增强与衬底的粘附性。前烘方法:热平板传导,干燥循环热风提高附着力,红外线辐射。
烘箱前烘条件:90-100度,10-20min,前烘时间与温度应适当,如太长或温度太高,光刻胶层变脆而附着力下降,而前烘不足会影响后面的显影效果。
NR77-20000PYNR9 3000PY光刻胶光刻胶存储条件及操作防护
光刻胶是一种可燃液体,NR9 3000PY光刻胶,储存条件应符合对应的法规,不要与强氧化剂混合,存放在通风良好的地方,NR9 3000PY光刻胶公司,保持容器密闭,NR9 3000PY光刻胶多少钱,避免吸入蒸汽或雾气,避免接触眼睛、皮肤或衣服,操作后清洗。
个人防护
眼睛:佩戴化学飞溅护目镜。
皮肤:戴上适当的防护手套防止皮肤暴露。
服装:穿戴合适的防护服防止皮肤暴露。
呼吸器:无论何时在工作环境下呼吸保护必须遵循中国职业安全健康管理局标准的规定和ANSI美国学会Z88.2的相关要求,或必须执行欧洲呼吸防护EN 149的标准。
光刻胶底膜处理:清洗:清洁干燥,使硅片与光刻胶良好的接触。烘干:去除衬底表面的水汽,使其干燥,增粘处理(涂底): 涂上增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物,HMDS,光刻胶疏水,Sio2 空气中,Si-OH, 表面有,亲水性,使用HMDS (H2C)6Si2NH 涂覆,熏蒸 与 SI –OH结合形成Si-O-Si(CH2)2,与光刻胶相亲。
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